-
Contact aligner(MA6)
- PLACE. 산학협력관 501호 (K-FAB)
- MAKER. Suss MicroTec / Scinco
- MODEL. MA6
-
ALD SYSTEM
- PLACE. 산학협력관 501호 (K-FAB)
- MAKER. NCD
- MODEL. Lucida D200
-
Sputter system
- PLACE. 산학협력관 501호 (K-FAB)
- MAKER. Infovion (Korea)
- MODEL. IS - 330
-
E-beam & Thermal Evaporator
- PLACE. 산학협력관 501호 (K-FAB)
- MAKER. Infovion (Korea)
- MODEL. 08-06S
-
RIE Etcher
- PLACE. 산학협력관 501호 (K-FAB)
- MAKER. Femto Science (Korea)
- MODEL. VITA-8
-
SPINCOATER(4인치)
- PLACE. 산학협력관 501호 (K-FAB)
- MAKER. 동아무역
- MODEL. ACE-200
-
Mask Aligner(MIDAS)
- PLACE. 산학협력관 501호 (K-FAB)
- MAKER. MIDAS SYSTEM
- MODEL. MDA-400S
-
PECVD
- PLACE. 산학협력관 501호 (K-FAB)
- MAKER. TTL Co.
- MODEL. FAB Star-P-1-6
-
ICP Etcher(Oxford)
- PLACE. 산학협력관 501호 (K-FAB)
- MAKER. Oxford Instrument
- MODEL. Plasma Pro 80cobra65
-
Probe Station
- PLACE. 산학협력관 502호 (소자분석실)
- MAKER. 유니텍시스템(주)
- MODEL. AP-8200
-
Ellipsometer
- PLACE. 산학협력관 501호 (K-FAB)
- MAKER. J.A. Woollam
- MODEL. M-2000U
-
Reflectometer
- PLACE. 산학협력관 501호 (K-FAB)
- MAKER. SJT
- MODEL. ST4000-DLX
