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국민대학교
산학협력단 공동기기원

 
 

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소프트소자팹

  • Contact aligner(MA6)

    • PLACE. 산학협력관 501-2호 (K-FAB)
    • MAKER. Suss MicroTec / Scinco
    • MODEL. MA6
    Contact aligner(MA6)
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  • ALD SYSTEM

    • PLACE. 산학협력관 501-2호 (K-FAB)
    • MAKER. NCD
    • MODEL. Lucida D100
    ALD SYSTEM
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  • Sputter system

    • PLACE. 산학협력관 501-2호 (K-FAB)
    • MAKER. Infovion (Korea)
    • MODEL. ID - 300
    Sputter system
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  • E-beam & Thermal Evaporator

    • PLACE. 산학협력관 501-2호 (K-FAB)
    • MAKER. Infovion (Korea)
    • MODEL. 08-065
    E-beam & Thermal Evaporator
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  • RIE Etcher

    • PLACE. 산학협력관 501-2호 (K-FAB)
    • MAKER. Femto Science (Korea)
    • MODEL. VITA-E
    RIE Etcher
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  • SPINCOATER(4인치)

    • PLACE. 산학협력관 501-2호 (K-FAB)
    • MAKER. 동아무역
    • MODEL. ACE-200
    SPINCOATER(4인치)
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  • Mask Aligner(MIDAS)

    • PLACE. 산학협력관 501-2호 (K-FAB)
    • MAKER. MIDAS SYSTEM
    • MODEL. MDA-400S
    Mask Aligner(MIDAS)
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  • PECVD

    • PLACE. 산학협력관 501-2호 (K-FAB)
    • MAKER. TTL Co.
    • MODEL. FAB Star-P-1-6
     PECVD
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  • ICP Etcher(Oxford)

    • PLACE. 산학협력관 501-2호 (K-FAB)
    • MAKER. Oxford Instrument
    • MODEL. Plasma Pro 80cobra65
    ICP Etcer(Oxford)
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